直線電機精度測量注意要點

直線電機精度測量需要注意的幾點簡述。
   注：所有測量條件要求安裝基座平面度小于10微米
   1 直線電機精度測量使用激光干涉儀與大理石平臺

2 重復定位精度定義
確定原點后，正反方向往返7次，測量得到的與原點的******偏差的±1/2 做為直線電機的重復定位精度。
標準型號直線電機重復定位精度為±1微米
高精度直線電機重復定位精度±0.5微米

3 絕對定位精度
絕對定位精度是直線電機全行程的設(shè)定目標與實際測量之間的******偏差

隨著控制系統(tǒng)的不斷進步，定位精度可用多點補償方式縮小偏差。
  
  

4 單軸直線電機測量指標
 

絕對精度：位置的定位位置差距；水平真值度：電機左右偏差；垂直真直度：電機上下偏差；
Pitching：電機移動時前后方向的角度； Yawing:電機移動時左右方向角度；
Rolling：電機移動時角度回轉(zhuǎn)。
5 測量方法
 

 

 

6 直線電機平臺的精度
垂直度
 

直線度
測量方法如下：如果直線電機平臺安裝基座平面度不好的話，測量得到的直線度數(shù)據(jù)會比較差。會引起ABBE誤差（由于安裝底座平面度不好引起的絕對精度不好）。
 

安裝機械平面度
X-Y-theta平臺安裝機械平面度
 

運行平面度
X-Y-THETA平臺運行平面度